Биз азыр максатты жакшы билишибиз керек, азыр максаттуу рынок дагы өсүп жатат, RSM редактору бөлүшкөн чачыратуу максаттын негизги көрсөткүчтөрү эмнеде?
Тазалык
Максаттуу материалдын тазалыгы негизги көрсөткүчтөрдүн бири болуп саналат, анткени максаттуу материалдын тазалыгы жука пленканын иштешине чоң таасирин тийгизет.Бирок, практикалык колдонууда, максаттуу материалдардын тазалык талаптары бирдей эмес.Мисалы, микроэлектроника тармагынын тез өнүгүшү менен кремний чиптин өлчөмү 6 ", 8"ден 12"ге чейин иштелип чыккан жана зымдардын туурасы 0,5умдан 0,25умга, 0,18умга же ал тургай 0,13умга чейин кыскарган.Буга чейин, 99.995% максаттуу материалдын тазалыгы 0.35umIC процессинин талаптарына жооп бере алат.максаттуу материалдын тазалыгы 0.18um линияларын даярдоо үчүн 99.999% же ал тургай 99.9999% түзөт.
Таза эмес мазмун
Максаттуу катуу заттардагы аралашмалар жана тешикчелердеги кычкылтек жана суу буулары пленка катмарынын булганышынын негизги булагы болуп саналат.ар кандай максаттар үчүн максаттуу материалдар ар кандай ыпластык мазмуну үчүн ар кандай талаптарга ээ.Мисалы, жарым өткөргүч өнөр жайында колдонулган таза алюминий жана алюминий эритмесинин буталары щелочтуу металлдардын жана радиоактивдүү элементтердин курамына өзгөчө талаптар коюшат.
тыгыздыгы
Максаттуу катуу заттын көзөнөктүүлүгүн азайтуу жана чачыраткыч пленканын иштешин жакшыртуу үчүн, адатта, бутанын жогорку тыгыздыгы талап кылынат.Максаттын тыгыздыгы чачыратуу ылдамдыгына гана эмес, пленканын электрдик жана оптикалык касиеттерине да таасирин тийгизет.Максаттуу тыгыздык канчалык жогору болсо, тасманын иштеши ошончолук жакшы болот.Мындан тышкары, бутанын тыгыздыгын жана күчүн жогорулатуу бутаны чачуу процессиндеги жылуулук стресске жакшыраак туруштук берет.Жыштык да максаттуу көрсөткүчтөрдүн негизги көрсөткүчтөрүнүн бири болуп саналат.
Дан өлчөмү жана дан өлчөмүн бөлүштүрүү
Максаты, адатта, микрометрден миллиметрге чейин дан өлчөмү менен поликристаллдуу.Ошол эле максат үчүн, майда дан менен бутанын чачуу ылдамдыгы ири дан менен бутага караганда тезирээк.Чачыратуу бутасы менен чөктүрүлгөн пленкалардын калыңдыгы азыраак дан өлчөмү айырмасы (бирдиктүү бөлүштүрүү) бир калыпта.
Посттун убактысы: 04-04-2022