Чачылган максаттуу материалдар колдонуу учурунда тазалык жана бөлүкчөлөрдүн өлчөмү үчүн гана эмес, бөлүкчөлөрдүн бирдей өлчөмү үчүн да жогорку талаптарга ээ.Бул жогорку талаптар бизди чачыраткыч максаттуу материалдарды колдонууда көбүрөөк көңүл бурууга мажбурлайт.
1. Чачууга даярдоо
Вакуумдук камеранын, өзгөчө чачыратуу системасынын тазалыгын сактоо абдан маанилүү.Майлоочу майлар, чаң жана мурунку каптоолордун калдыктары суу сыяктуу булгоочу заттарды топтоп, вакуумга түздөн-түз таасирин тийгизип, пленканын пайда болуу ыктымалдыгын жогорулатат.Кыска туташуулар, бутага атуу, орой пленка түзүүчү беттер жана ашыкча химиялык аралашмалар, адатта, чачыраткыч камералардын, мылтыктардын жана бутагалардын таза эместигинен келип чыгат.
Каптаманын составдык мүнөздөмөлөрүн сактоо үчүн чачыраткыч газ (аргон же кычкылтек) таза жана кургак болушу керек.Чачыратуу камерасына субстрат орнотулгандан кийин процесс үчүн керектүү вакуум деңгээлине жетүү үчүн абаны алуу керек.
2. Максатты тазалоо
Максаттуу тазалоонун максаты бутанын бетинде болушу мүмкүн болгон чаңды же кирди жок кылуу.
3. Максаттуу орнотуу
Максаттуу материалды орнотуу процессинде көңүл буруу керек болгон эң негизги нерсе - бул максаттуу материал менен чачыраткычтын муздаткыч дубалынын ортосунда жакшы жылуулук байланышын камсыз кылуу.Эгерде муздаткыч дубал же арткы пластинка катуу кыйшайып калса, ал максаттуу материалды орнотуу учурунда жарылып же ийилип кетиши мүмкүн.Арткы бутадан максаттуу материалга жылуулуктун өтүшүнө чоң таасирин тийгизет, натыйжада чачуу учурунда жылуулукту таркатууга жөндөмсүз болуп, акырында максаттуу материалдын жарылуусуна же четтөөсүнө алып келет.
4. Кыска туташуу жана пломба текшерүү
Максаттуу материалды орноткондон кийин, бүт катоддун кыска туташуусун жана пломбасын текшерүү керек.Катоддун кыска туташылышын аныктоо үчүн омметрди жана мегаомметрди колдонуу сунушталат.Катоддун кыска туташуусу жок экенин ырастагандан кийин, агып кетүүнүн бар же жок экендигин аныктоо үчүн катодго суу куюу аркылуу агып чыгууну аныктоого болот.
5. Максаттуу материал алдын ала чачыратуу
Максаттуу материалды алдын ала чачуу үчүн таза аргон газын колдонуу сунушталат, ал максаттуу материалдын бетин тазалай алат.Максаттуу материал үчүн чачыратуу процессинде чачыратуу күчүн акырындык менен жогорулатуу сунушталат.Керамикалык максаттуу материалдын күчү
Пост убактысы: 19-окт.2023