Чачыратуучу максаттуу материалдарды тандоодо вакуумдук каптоо адамдар үчүн көйгөй болуп калды, анткени чачыратуу каптоо, айрыкча магнетрондук чачыратуу каптоо көндүмдөрүн өнүктүрүү, ар кандай маалымат үчүн ичке пленкалардын материалды даярдоону максаттуу кыла алат деп айтууга болот. иондук бомбалоо менен, анткени субстраттын түрүнө каптоо процессинде максаттуу материалды чачыратуу менен чачыраткыч пленканын сапатына маанилүү таасир этет, Ошондуктан, максаттуу материалга талаптар катуураак болот.Бул жерде биз Пекин релаксациясынын редактору менен бирге вакуумдук каптоодо чачыратуу бутанын ролу жөнүндө билебиз.
一、Тандоо принциби жана максаттуу материалдын классификациясы
Максаттуу материалды тандоодо, тасманы колдонуудан тышкары, төмөнкү көйгөйлөрдү да эске алуу керек:
Маселе 1. Мембрананын колдонуу жана аткаруу талаптарына ылайык, максаттуу материал тазалык, журналдын мазмуну, компоненттердин бирдейлиги, иштетүү тактыгы жана башка техникалык талаптарга жооп бериши керек.
Маселе 2. Максаттуу материал пленканы түзгөндөн кийин жакшы механикалык күчкө жана химиялык туруктуулукка ээ болушу керек;
Маселе 3. Реактивдүү чачыраткыч пленка катары реакциялык газ менен пленка материалы оңой аралаш пленканы жаратышы керек;
Маселе 4. Максатты жана матрицаны бекем кылып коюу керек, антпесе матрица менен жакшы адгезиясы бар пленка материалы кабыл алынышы керек, адегенде астыңкы пленканын катмарын чачып, андан кийин керектүү пленка катмарын даярдоо керек;
5-суроо. Пленканын аткаруу талаптарын канааттандыруу шартында, бутанын жана матрицанын жылуулук кеңейүү коэффициентинин ортосундагы айырма канчалык аз болсо, чачыраткыч пленканын жылуулук стрессинин таасирин азайтуу үчүн ошончолук жакшы;
Көп колдонулган бир нече максаттарды даярдоо
(1) cr максат
Chromium sputtering пленка материалы катары негизги материал менен айкалыштыруу оңой эмес, жогорку адгезияга ээ, ал эми хром жана оксид CrQ3 пленкасы, анын механикалык касиеттери, кислотага туруктуулугу жана жылуулук туруктуулугу жакшыраак.
Пекин Ruichi High-Tech Co., Ltd негизинен алектенет: титан максаттуу цирконий максаттуу, алюминий максаттуу, никель максаттуу, хром максаттуу, вольфрам максаттуу, молибден максаттуу, жез максаттуу, кремний максаттуу, ниобий максаттуу, тантал максаттуу, титан-кремний эритмеси максат, титан-ниобий эритмесин максаттуу, титан-вольфрам эритмесин максаттуу, титан-цирконий эритмесин максаттуу, никель-хром эритмесин максаттуу, кремний-алюминий эритмесин максаттуу, никель-ванадий эритмесин максаттуу, хром-алюминий-кремний үчтүк эритмесин максаттуу，Ти алси үчтүк эритмеден жасалган максаттуу материал, жасалгалоодо/катуу бетинде жана функционалдык каптоодо, архитектуралык айнекте, жалпак дисплейде/оптикалык фотоэлектрдик, оптикалык сактоодо, электроникада, басып чыгарууда жана башка кесиптерде кеңири колдонулат.
Посттун убактысы: 02-02-2022